<薄膜生產工藝技術>外延薄膜中的缺陷
本文檔由 精品庫 分享于2012-05-10 15:22
點缺陷：空位，間隙原子，替代雜質原子，間隙雜質原子線缺陷：刃型位錯，螺型位錯，層錯面缺陷: 孿晶界，小角晶界，共格晶界……金屬，半導體：不同的結構不同的特性表面點缺陷，表面線缺陷
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