薄膜材料與薄膜技術 第三章 薄膜的物理制備方法-蒸發
本文檔由 資料一籮筐 分享于2011-03-26 14:14
本文介紹了薄膜的物理制備的真空蒸發方法，包括真空蒸發原理、蒸發源的蒸發特性及薄厚分布、蒸發源的類型、合金及化合物的蒸發、膜厚和淀積速率的測量與監控等內容。
下載文檔
收藏
-
掃一掃安裝書房APP
-
掃一掃關注微信號